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专利详情
一种晶圆清洗提篮
申请号：
CN201520486277.X
申请公布号：
CN204720430U
申请日：
2015-07-07
申请公布日：
2015-10-21
申请（专利权）人：
北京市塑料研究所
专利代理机构：
北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)
分类号：
H01L21/673(2006.01)I
专利介绍
本实用新型涉及晶圆清洗技术领域,尤其是涉及一种晶圆清洗提篮,包括两个侧板、至少两根上支杆和两个提杆;两个所述侧板平行间隔设置;所述上支杆连接在两个所述侧板之间;所述提杆包括一个横杆部和两个竖杆部;所述横杆部的两端分别与两个所述竖杆部连接;两个所述竖杆部分别与两个所述侧板转动连接,所述竖杆部的旋转平面与所述侧板的板面平行。
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